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    單溫區PE-CVD系統

    單溫區PE-CVD系統

    產品型號: TFE-1200-50-I-220

    所屬分類:TFC化學氣相沉積

    產品時間:2022-03-29

    簡要描述:單溫區PE-CVD系統
    高性能射頻電源.等離子體更穩定;
    滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速升溫和降溫功能;
    與傳統CVD相比較.生長溫度更低

    詳細說明:

    單溫區PE-CVD系統

    高性能射頻電源.等離子體更穩定;

    滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區.并可實現快速升溫和降溫功能;

    與傳統CVD相比較.生長溫度更低






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